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切記!定期維護半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率
更新時間:2025-11-4熱點推薦
切記!定期維護半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率

在半導(dǎo)體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學氣相沉積(CVD)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)重要的保護氣與反應(yīng)氣。半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器憑借現(xiàn)場制氫、純度高(≥99.9999%)、無鋼瓶風險等優(yōu)勢,成為晶圓廠潔凈室中的設(shè)備。然而,其核心部件對水質(zhì)、溫度與運行狀態(tài)敏感,只有通過科學、系統(tǒng)的定期維護半導(dǎo)...

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  • 2021-11

    17

    使用液質(zhì)聯(lián)用氮氣發(fā)生器別忘了給予其正確的維護保養(yǎng)

    液質(zhì)聯(lián)用氮氣發(fā)生器是分離空氣,電解膜的負極側(cè)發(fā)生氧化反應(yīng),吃掉空氣中的氧化性氣體,在正極側(cè)還原,空氣流過電解池后就只剩下氮氣和惰性氣體,故國內(nèi)發(fā)生器的純度大多標有“相對含氧量”,氮氣的純度和空氣流速,有效分解面的長度,電解電勢的強弱都有關(guān)系。該設(shè)備操作維護方便、運行成本較低、裝置適應(yīng)性較強等特點,故在1000Nm3/h以下氮氣發(fā)生器中頗具競爭力,越來越得到中、小型氮氣用戶的歡迎,已成為中、小型氮氣用戶的方法。下面小編要與大家分享的是液質(zhì)聯(lián)用氮氣發(fā)生器的維護保養(yǎng)方法:1、按儀器...

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  • 2021-10

    12

    零級空氣發(fā)生器使用中的這些注意事項你都知道嗎?

    零級空氣是一種常見的氣體混合物,成分主要由氧和氮組成,零級空氣可采用不同的方法脫除干燥空氣中的二氧化碳和其他痕量雜質(zhì)(如烴類、水分、氮氧化合物等)獲得。零級空氣發(fā)生器是一種凈化空氣源的裝置,通過對壓縮空氣中的總碳氫化合物進行催化裂解產(chǎn)生低于0.1ppm碳氫化合物的零級空氣,在含有鉑鈀載體的加熱催化器中碳氫化合物被轉(zhuǎn)化為二氧化碳和水蒸氣。儀器內(nèi)部采用硅橡膠圈(含硫量低),有效提高氣體質(zhì)量,保證色譜基線平穩(wěn)。零級空氣發(fā)生器使用中的注意事項:1、為了確保氣體純度,零級空氣發(fā)生器每工...

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  • 2021-9

    7

    氮氣發(fā)生器夏季降溫小妙招

    氮氣發(fā)生器通常有PSA制氮和膜分離法,采用了檢測光錐技術(shù),靈敏度高;包被型輔助載氣提高檢測靈敏度,避免檢測池污染;低溫霧化和蒸發(fā),同時檢測半揮發(fā)性和不揮發(fā)性化合物,對熱不穩(wěn)定化合物亦有較好的靈敏度;高精度溫度和壓力控制,保證分析精度高精度信號采集;精密電源可以滿足儀器穩(wěn)定工作的要求;同時強大的軟件控制功能:溫控處理,氣體流量閉環(huán)控制,溫度、壓力、流量、PMT信號的數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理等。夏季對于很多設(shè)備來說都是“不友好”的,因為高溫會影響到他們的正常使用,氮氣發(fā)生器也不例外,那...

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  • 2021-7

    26

    氫氣發(fā)生器的過濾管安裝技巧分享

    氫氣發(fā)生器在直流電的電解作用下,電解氫氧化鉀或氫氧化鈉水溶液,獲得氫氣與氧氣。氧氣在陽極產(chǎn)生,直接排空;氫氣在陰極產(chǎn)生,通過過濾,去除水分,得到高純的氫氣。氫氣通過光電耦合器控制輸出的壓力,及氣相色譜儀器所需氫氣流量。根據(jù)以上原理生產(chǎn)出符合氣相色譜儀器所需要的穩(wěn)定的壓力及流量的高純度的設(shè)備。氫氣發(fā)生器的過流二級保護裝置,安全可靠。通過電解KOH的水溶液制備氫氣。機器內(nèi)設(shè)有多種智能控制裝置,使用安全方便。儀器智能化預(yù)警保護系統(tǒng),確保用氫安全,具有低水位報警、缺水自動停止產(chǎn)氫、氫...

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  • 2021-7

    16

    氣相色譜專用氫氣發(fā)生器停機自檢工作

    在使用過程中,很多人都會重視氣相色譜專用氫氣發(fā)生器使用中的規(guī)范,卻忽略了其停機時的規(guī)范,今天普拉勒就帶大家一起來看看氫氣發(fā)生器停機時的操作步驟。氣相色譜專用氫氣發(fā)生器開機時,先用原料氫置換系統(tǒng),從閥放空,待系統(tǒng)內(nèi)的高純氮置換干凈后,根據(jù)用戶的原料氫內(nèi)的含氫量和所需高純氫量,來選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量,然后再通電加熱鈀管,從閥2流出高純氫。調(diào)溫方法,可根據(jù)隨機所帶的說明書進行溫度設(shè)定。從鈀擴散制得的高純氫到實際獲得的高純氫,需要置換閥前管線的一段時間,通常約需2-3小時...

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  • 2021-6

    29

    氫氣發(fā)生器的高穩(wěn)定性離不開用戶的以下操作

    在實際使用中,為了增強氫氣發(fā)生器的運行穩(wěn)定性,以下注意事項是需要每一個用戶都重視的,今天小編簡單為大家做一個介紹。1、首先,設(shè)備啟動前需要做好充分的準備工作:加入氫氧化鉀電解液,充分攪拌溶解等電解液*冷卻后再倒入儲液桶中使用,然后加入高純水不要超過上限水位線,也不要低于下限水位線,擰上外蓋,液位管中的白色東西是液位管接口處的潤滑劑,不影響使用,待整體換液后就好。2、在實際操作中,要注意流量指示是否和色譜儀的氣量一致,如果流量指數(shù)超出了色譜儀實際用量時,應(yīng)立即停機檢漏,其方法可...

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  • 2021-5

    27

    選擇針頭過濾器時要考慮的因素及運行期準備工作介紹

    針頭過濾器已是實驗室常規(guī)使用的快速、方便、可靠的過濾工具,外形美觀輕巧、潔凈度高,主要用于樣品預(yù)濾、澄清、去除顆粒、液體和氣體的除菌過濾,是過濾HPLC、GC小量樣品的選擇方式。選擇針頭過濾器要考慮的因素:該產(chǎn)品處理色譜樣品時,要避免其它雜質(zhì)物在過濾過程中引入。這種雜質(zhì)物的出現(xiàn)可能為:外殼材料或濾膜會脫落顆粒物而帶入到濾液中。因而濾膜和外殼結(jié)構(gòu)的材料非常重要,不同類型的濾膜適用于不同性質(zhì)的樣品:1、親水性樣品:選用親水膜片,對水有親和力,適合過濾水為基質(zhì)的溶液。可用的濾膜有:...

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  • 2021-3

    17

    以下工作在零級空氣發(fā)生器使用前需做好

    零級空氣發(fā)生器是一套完整的系統(tǒng),由可靠性高的精構(gòu)件組成,這些構(gòu)件的設(shè)計可保證簡便的安裝操作及長期使用,這種發(fā)生器的安裝較之危險的高壓氣體鋼瓶要簡便許多,而正是一次到位,只要存在標準的壓縮空氣和電氣插座,該發(fā)生器即可運行。該產(chǎn)品一般是由空氣泵/壓縮機、穩(wěn)壓系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)組成。氣路系統(tǒng)采用穩(wěn)壓和過壓保護裝置,提高了氣體壓力的穩(wěn)定性,確保了零級空氣發(fā)生器使用的安全可靠。設(shè)有排水和粉塵過濾裝置,并采用不銹鋼儲氣罐代替碳鋼儲氣罐,大大提高了壓縮空氣的純凈度,可以...

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