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切記!定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率
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切記!定期維護(hù)半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器才能確保產(chǎn)線的安全與良率

在半導(dǎo)體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學(xué)氣相沉積(CVD)等關(guān)鍵環(huán)節(jié)重要的保護(hù)氣與反應(yīng)氣。半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器憑借現(xiàn)場制氫、純度高(≥99.9999%)、無鋼瓶風(fēng)險等優(yōu)勢,成為晶圓廠潔凈室中的設(shè)備。然而,其核心部件對水質(zhì)、溫度與運(yùn)行狀態(tài)敏感,只有通過科學(xué)、系統(tǒng)的定期維護(hù)半導(dǎo)...

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