普拉勒金剛石MPCVD氫氣發生器介紹  

一、產品概述  

普拉勒金剛石MPCVD氫氣發生器是一款專為金剛石薄膜制備設計的先進設備，采用微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）技術，結合高效氫氣生成系統，為金剛石生長提供穩定、純凈的氫氣環境。該設備廣泛應用于半導體、光學、機械加工等領域，是高性能金剛石薄膜制備的理想選擇。
 

二、核心特點  

1. 高效氫氣生成  

1）采用先進的電解水技術，高效生成高純度氫氣（純度≥99.999%），滿足金剛石薄膜制備的嚴格要求。  

2）氫氣產量穩定，可根據實驗需求靈活調節，確保實驗過程的連續性和穩定性。  

2. MPCVD技術優勢  

1）微波等離子體技術提供均勻的高能量密度，促進金剛石薄膜的高質量生長。  

2）等離子體環境可控性強，支持多種氣體混合，適應不同金剛石薄膜的制備需求。  

3. 智能化控制  

1）配備先進的PLC控制系統，實現氫氣流量、壓力、溫度等參數的精確控制。  

2）支持多段程序設定，自動化操作，減少人為干預，提高實驗效率。  

4. 安全可靠  

1）配備多重安全保護功能，包括過壓保護、漏氣保護、過溫保護等，確保設備運行安全。  

2）采用防爆設計和優質材料，適應高能量密度環境，延長設備使用壽命。  

三、技術參數  

1）氫氣純度：≥99.999%  

2）氫氣流量：0-1000 sccm（可調）  

3）工作壓力：0.1-100 kPa（可調）  

4）電源功率：3-5 kW  

5）冷卻方式：水冷/風冷  

四、應用領域  

1. 半導體行業：用于制備高性能金剛石薄膜，提升半導體器件的散熱性能和電學性能。  

2. 光學領域：用于制備高透光率、高硬度的金剛石薄膜，應用于光學窗口、激光器等。  

3. 機械加工：用于制備超硬金剛石涂層，提高刀具、模具的耐磨性和使用壽命。